精密加工氣态污染物的處理

污染物的處理

酸霧淨化噴淋塔:

酸霧噴淋塔主要處理有害氣體為硫酸霧（H2SO4）、氯化氫（HCL）及氟化氫（HF）氣體、鉻酸霧（CrO3）等水溶性氣體。酸霧廢氣處理塔對于腐蝕性氣體（如酸、堿性廢氣）的治理，目前多采用液體吸收法治理該廢氣，格林斯達環保自主開發了廢氣處理設備效率高、操作管理簡單、使用壽命長的酸、堿性廢氣處理工藝與廢氣淨化設備。

直燃爐:

直燃爐是将含有VOCs成分的氣體在高溫下氧化分解，合理的氧氣供給量、燃燒溫度、停留時間及湍流度等四個燃燒條件，可達到預期的淨化處理效果。在處理有機廢氣時，其燃燒溫度多在700~800℃，與氧氣充分混合，有機物氧化效率可達99%。為節約能源，直燃爐可利用燃燒後的高溫氣體的餘熱進行兩段式熱能回收，一段熱交換器用來将燃燒廢氣進行預熱以節省燃燒室内能源消耗，二段熱交換器是将冷卻氣體加熱升溫直脫附溫度，為轉輪脫附提供足夠的能量。

尾氣處理等離子水洗設備：

通過直流電源，使工作氣體（氮氣）進入等離子體反應器，在正負極強電流的作用下，被電離成等離子體，瞬間産生巨大的火焰，産生的高溫火焰将廢氣分解去除半導體Dry Etch、ThinFilm、Diffusion等晶圓工藝制程中使用或産生的PFC溫室氣體和有毒有害氣體，如：CF4、NF3、SF6、C2F6、CHF3、CH2F2等

砷磷烷吸附塔：

利用化學反應、複分解反應等基本原理，與各種廢氣産生化學反應，生成穩定的無毒無害的化合物或者複合物，可直接用于修路、垃圾填埋等，不會産生二次污染。

精密加工生産中的廢氣處理系統